中微半導體設備(上海)股份有限公司的主營(yíng)業(yè)務(wù)是半導體設備及泛半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。公司的主要產(chǎn)品有電容性等離子體刻蝕設備，電感性等離子體刻蝕設備，MOCVD設備，VOC設備。 　　2019年在美國領(lǐng)先的半導體產(chǎn)業(yè)咨詢(xún)公司VLSI Research對全球半導體設備公司的“客戶(hù)滿(mǎn)意度”調查和評比中，公司綜合評分繼2018年的結果之后繼續保持全球第三，在芯片制造設備專(zhuān)業(yè)型供應商和專(zhuān)用芯片制造設備供應商評比中均名列第二，并在薄膜沉積設備評比中繼續名列第一。同時(shí)，全球晶圓制造設備商評級為五星級公司僅有五家，中微公司是其中之一。